對于有些金屬, 我們很難使用蝕刻 Etching 方式來完成想要家用電梯井道的規格及尺寸的電路圖案 Circuit Pattern時, 就可以采用 Lift-Off 制程來做出想要家用電梯井道的規格及尺寸的金屬圖案. 在此過程中, 電子束蒸發于在基板表面上沉積所需的薄膜層于犧牲層與基材上, 最終在洗去犧牲層, 以得到其電路圖案.

上海伯東代理剝離成形電子束設備可以精準的控制蒸發速度, 因此薄膜厚度和均勻度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 最大直徑可達 12寸晶圓, 腔體的極限真空度約為 10-8 Torr.

針對 Lift-Off 制程設計載臺水冷或液態氮冷卻

Lift-Off 制程步驟:

1. 準備基板

2. 犧牲薄膜層的沉積

3. 對犧牲層進行圖案化 (例如蝕刻), 以形成反向圖案

4. 沉積目標材料

5. 洗去犧牲層以及目標材料的表面

6. 最終圖案層：

①基材

②犧牲層

③目標材料

上海伯東剝離成形電子束設備配置和優點

客制化的基板尺寸, 最大直徑可達 12寸晶圓

薄膜均勻度 小于±3％

水冷坩堝的多組坩鍋旋轉電子束源 (1/2/4/6坩堝)

自動鍍膜系統

具有順序操作或共沉積的多個電子束源

基板具有冷卻 (液態氮溫度低至-70°C)功能

腔體

客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應用

腔體最高可至 650 mm

腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件

可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起

應用領域

Lift-Off 制程

對傳統熱蒸發技術難以實現的材料蒸發, 可采用電子束蒸發的方式來實現. 不同于傳統的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實現超過 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發出來, 甚至是高熔點的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發源可承載 1-6種不同的材料, 實現多層膜工藝; 蒸發源本身防污染設計, 使得不同材料之間的交叉污染降到最低.

若您需要進一步的了解電子束蒸鍍設備詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式